超自动化(Hyper automation)是Gartner 2020年10大战略技术趋势列表中的 第一大趋势。全世界各企业也将这一项技术视为商业流程的标准，如洪水般的向这标准迈进。 什么是超自动化？它整合了流程 自动化的多个组件，转换了增强工作自动化能力的工具和技术。 超自动化是以机器人流程自动化 (RPA)为核心，整合「人工智能(AI)、自然语言处理(NLP)、深度学习(Deep Learning)、高阶分析(Analysis)、视觉/语音分析(Visual/speech analysis)和流程挖掘(Processing mining)」，来扩展企业自动化能力。

企业导入超自动化的第一步就是导入RPA，它是个软件工具，主要目地就是把低产值的手动作业，指派给PRA流程机器人，请流程机器人反复执行指定动作，取代人力的投入，提高工作效率，减少错误，提供15％~90％降低成本的机会。
 

• 案例说明：在半导体产业，许多客户因应RPA的洪流趋势，积极的将RPA导入在他们各项制程中（黄光、蚀刻、扩散、薄膜、研磨等 )；此外，厂晨也是诸多产线工程师/工厂主管每日一早必开的会议，在其中一个项目是机台工程师必须汇整每日「机台制程报告」如图所示：

• 原本面临之问题（机台工程师）：每日需耗时去各系统汇整机台信息以利产线晨会报告。
• 解决方式(RPA)：依机台工程师汇整报告规则性的逻辑，整理报告，并定时的将报告寄出(Email)。
• 效益：将时间花在刀口上，耗时且逻辑性的机台汇整报告，由RPA取代，机台工程师可将宝贵时间聚焦在产线数据搜集后的分析与检视，让每日的战情会议能更具价值，有助于产能与良率的提升。