CIM-PCプロセス装置の生産自動化

CIM PC Control System(CPC)為管理單一台或聯機(Cluster)的製程設備,為客戶特定的生產作業與需求,依製程設備的特性,建立自動化的控制系統,並俱資訊交換介面與上位系統(MES)進行生產資訊的交換作業,使生產作業得以自動化, 也稱EAP。

基本的系統架構與組成,包含有製程模組、物料搬運模組、載具模組及CPC等單元。其架構及功能特性與BC大多相同,而最大的差別為控制的製程設備模組數量較少及可提供較多樣的客製化功能。

系統面
  • 系統符合SEMI E30、E32、E38的規範要求。
  • 上位系統介面:可與任何MES介接,介面支援IBM MQ、Tibco RV、HSMS…等多種通訊介面,進行上下游資料的交換整合。
  • 可連接多種資料庫如Oracle、DB2、SQL Server等。

功能面
  • 將上位系統的生產資訊下達給製程設備,使其依命令進行生產作業。
  • 生產Recipe 的管理,如對Recipe Body檢查,與變更回報資料…等。
  • 生產作業的資訊與條件即時搜集並回報上位系統。
  • 設備端的介面訊號變化記錄,具備系統歷史狀態回溯查詢功能,以瞭解某一時間點內作發生的問題及相關的原因判斷,藉以改善人員作業模式及處理流程的改善依據。
  • WIP的資料管理與回報
  • 載具資料的管理、維護與記錄。
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