ウエハカセット窒素充填自動倉庫システム

一般晶圓盒充氮氣的儲存方式,大多以垂直循環式自動倉儲,其儲存的容量有限,盟立為解決客戶大量儲存空間的需求,開發充氮氣的立體自動倉儲系統。
藉由立體化的料架設計,以庫板隔離成密閉空間,再充滿氮氣並監控,於出入口側的輸送帶,設有快速捲門,採雙門設計,作一開一閉控制,以降低氮氣的外洩量。此系統的運用,可有效提昇空間使用,降低投資成本,改善倉儲管理效率。

適用產業:
電子、半導體、太陽能
功能特色:
  • 創造大量儲存空間
  • 有效提昇空間使用
  • 改善倉儲管理效率
  • 自動充氮氣監控系統
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