OHT天井走行搬送システム

盟立自製的高空走行式無人搬運車(OHT)為高架搬送系統,主要搬運Foup至各製程設備間的Load/Unload Port,OHT夾取Foup於高空軌道輸送系統上行進,除可有效節省及利用空間外,另對比傳統人工搬送作業流程,更能大幅提高搬送效率,節省搬送時間。在不占用人員走道的前提下以及廠房高度約2.7米左右即可導入,將無塵室內的空間使用率最大化。藉由高空走行式無人搬運車可以直接存取Stocker load port上的貨物,不受運行路線上的機台/人員等障礙物干涉。
產品介紹及應用

OHT 空中ハンドリング システム: 直接ハンドリングを実現し、製品サイクル タイムを短縮します

OHT は、顧客のニーズに応じて、異なるプロセス セクション間または工場の建物全体でウェーハ ボックス (FOUP) を連続して輸送できる吊り下げ式空中輸送システムです。中継ステーションとしてのストッカーを使用する必要がないため、工場全体のOHT適用によりEQからEQへの直接搬送が実現でき、車両の搬送時間と製品のサイクルタイム(サイクルタイム)を大幅に短縮できます。
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