ウエハ搬送搬送装置 FOUPストッカー

 
近年來盟立自動化公司積極投入半導體產業,整廠自動化系統,在業界已有多家客戶使用,創造優良正面評價與實績,其性能、可靠性、與安全性已於多個「半導體產業超高密度自動倉儲案」取得 SEMI S2 半導體設備安全認證。半導體廠房產線多數空間有限,為解決儲存空間不足問題,有效活化設備周圍可用空間。

半導體廠房產線多數空間有限,為解決儲存空間不足問題,有效活化設備周圍可用空間,盟立開發出高密度自動倉儲,充分利用空間可存放大量產品;實際應用案例:使用空間長度30公尺、寬度1.5公尺、高度5公尺,貨架可儲存約7000個Tray盤。高密度自動存取機,可對具晶圓盒系列FOUP / FOSB 、封裝測試系列Tray承載盤、玻璃基板卡匣等做搬運,能透過OHT、AGV、人工作業等設備進行上下料、暫存及晶圓傳送運輸。


要達到高密度的倉儲空間,設備整體高度加高,高速移動時相對晃動慣性量就會加大,為因應此問題盟立以自行研發STOCKER振動抑制控制抑制功能,降低振動對產品的損害。

功能特色:高密度儲存空間、節省廠房占地面積
產品介紹及應用
Mengli Groupが開発した保管装置FOUP STOCKERは、クリーンルーム搬送システムを使用して製品の入退場を管理し、工場内の倉庫スペースを最大限に活用できます。入退場を制御する自動化システムを追加することで、従業員が稼働していない発生率を減らし、自動化のビジョンをさらに実現することもできます。
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